| 精密光學儀器 |
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| Optical |
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| 雙面對位測定機 |
•DCM 系列獨特的上、下雙鏡頭設計，為雙面對位量測所開發的非接觸式光學量測儀器。
•DCM 可由目鏡(或顯示器)分別觀看正面、背面及雙面結合影像。
•搭配精密的測量平台，可分別測量待測物 (sample) 的正、反面的X、Y 軸數據。
•顯示雙面結合影像時可測量正、反面的對位差，精度極佳。
•總和倍率由 50倍至1000倍 ( 上、下鏡頭倍率須相同 ）
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DCM 型號 DCM-40/60 獨特的光學系統，可量測被測物 ( 晶圓 ) 的正反兩面的對位差，可裝置 5 種不同倍率的物鏡 ( 上、下物鏡倍率需一致 ) ，總合倍率由 50 倍 ~1000 倍，可依被測物的需求做不同的選擇。
應用範圍:
•各種雙面製程的對位測量
•晶圓 (Wafer) 正、反面凸塊或兩面溝槽的對位測量
•導線架的正 / 反兩面的對位測量
•微機電 (MEMS) 的正、反面的對位測量
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 １.鏡頭選擇裝置，選擇上鏡頭 (Top) 後，調整焦距使畫面為一清晰之影像 |
 ２.鏡頭選擇裝置，再選擇下鏡頭(Bottom)，調整焦距使畫面為一清晰之影像 |
 ３.鏡頭選擇裝置，再選擇雙面結合影像，可同時看見正、反面的記號並測量正、反面記號的對位差 |
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在1948 年於日本創立以來，為提供使用者高品質、高精密的光學量測設備而努力。 其在半導體及電子業界的應用備受肯定，主要產品涵蓋三次元工具顯微鏡、紅外線 (IR) 顯微鏡、雙面對位檢測儀、晶圓 (WAFER) 厚度量測設備等。
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