| 精密光學儀器 |
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| Optical |
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| 非接觸式深度量測顯微鏡系統 |
X、Y、Z 三軸精密量測，Z軸量測精度可達±1μm，
光學非接觸式，可避免破壞待測物，廣泛應用於IC封裝、機械產業及學術研究機構等需要高精度三次元量測之應用，
可依客戶需求，搭配量測軟體及其他配件。
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高精確非接觸式深度量測，在觀測量測點的表面，以非常簡單的方式操作，降低人為誤差。
Hisomet 是非接觸式深度量測顯微鏡系統。
根據光學的焦點探知系統而設計。
藉由簡單的重疊對焦符號採取精確的對焦指示符號，可測量高度、深度、距離…等，和觀察量測點的表面。
因為有非接觸式系統，因此不需擔心物質的損壞如樣品變形、刮傷、刻痕， Hisomet 是最理想的在量測電子零件如 ICs 或高精度加工零件。
特性:
•Z 軸量測超高精度±1μm
•Z 軸光學式輔助對焦符號，大幅降低人眼誤差。
•兩種不同的對焦符號，可任意切換。
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在1948 年於日本創立以來，為提供使用者高品質、高精密的光學量測設備而努力。 其在半導體及電子業界的應用備受肯定，主要產品涵蓋三次元工具顯微鏡、紅外線 (IR) 顯微鏡、雙面對位檢測儀、晶圓 (WAFER) 厚度量測設備等。
>> DH2
>> DH2-150
>> IMH
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