非破壞性檢測系統
    NDT
HITACHI Fine SAT II 超音波映像/檢查裝置
Fine SAT 是針對研發、品質與生產線上多樣及大量檢測需求而設計,為一操作簡易靈活、高品質、量產型機台。
超音波可用來檢測、解析IC 內部不同位置的脫層、 氣洞、 裂痕及粘著狀況,隨著IC 的微細化發展,超音波也將朝向高頻,高Dumping、超微細Beam的方向發展,Hitachi 的 ZnO 探頭可為大家提供超高頻率的映像檢測與解析,同時可提供精細的立體檢測與解析。
AT/UT 機型提供大型物品及LCD週邊產業內部架構之觀測,不同尺寸的水槽與自行研發獨一無二的軟體,有助於在生產線上或是製程線上多樣化的檢測 。
 
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特性:

•高品質(Fine):最新開發 500MHz 超音波探傷儀,大幅提高影像品質,高精密度掃瞄,可產生 0.5 μm解析度圖形 6 千 7 百萬畫素 ( 8192 x 8192 )。

•快速 (Fast):掃瞄機速度高達 1000mm/sec,較傳統增加 67%,搭配加大掃瞄區域,增加其單位處理量。

•彈性 (Flexible):配合各種需求可搭配各式探頭(Probe) ,提供更強的客製功能與使用的方便性 。

產品功能:

•立體傾斜式掃瞄 ( S-image,日立專利): 幫助更容易取得焦點位置。

•多重影像、參數儲存 ( Image Index ,日立專利):所有參數可以與影像同時儲存,對於類似待測物(Sample) 可迅速取得影像。

•自動多層掃瞄 ( Auto Lamina Image): 在既定的高度範圍內,可取得多達64層對焦影像。

•即時 3D 影像( Real –Time 3D imaging ):電腦重建 3D 圖型後,可針對任何切面進行分析。

•完整的探頭 ( Probe ) 組合
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