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電路整列製程設備
日立HHT檢查設備(Particle Counter)
液晶面板製造業界市佔率70%以上，日立檢查設備(Particle Counter)—異物檢出精度最能符合各家液晶面板製造大廠之需求。
 
 

玻璃基板表面檢查設備
最適合於對玻璃基板表面異物檢查及製程管理
對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢。
具有節省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裏分離能力等優點。







洗淨機
對應第 7 代基板尺寸
優秀的設計能力與多樣的型式變化，可配合顧客的不同需求。
可搭配前後製程設備組成一貫化生產線








顯影暨酸鹼藥劑濕製程設備
滿足客戶對大型基板處理上均一性的要求
高性能的風刀 (Air Knife) 適合基板高傳送速度
減少純水、化學藥劑等使用量。
設備結構精簡、小型化，節省空間。





洗淨機
對應第 7 代基板尺寸
優秀的設計能力與多樣的型式變化，可配合顧客的不同需求。
可搭配前後製程設備組成一貫化生產線
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