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面板組立機
日立HHT 濕式設備
液晶面板製造業界口碑第一的最佳品牌，日立HHT濕式設備—對於各項濕式製程最能符合各家液晶面板製造大廠之要求。
 
 

玻璃基板表面檢查設備
最適合於對玻璃基板表面異物檢查及製程管理
對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢。
具有節省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裏分離能力等優點。







P/S ( Photo Spacer ，感光間隙材料 ) 高度檢查機
可快速執行 C/ F ( Color Filter，彩色濾光片 ) 全數檢查 Confocal ( 共軛焦 ) 的檢查方式，可避免受到 C/ F 顏色及振動干擾或影響。 可同時量測 P/ S 的高度與位置








洗淨機
對應第 7 代基板尺寸
優秀的設計能力與多樣的型式變化，可配合顧客的不同需求。
可搭配前後製程設備組成一貫化生產線








基板對準壓合機
快速、高精度的基板對準壓合系統。
具有以回饋壓合後結果並做對準位置的自動補正的功能。










洗淨機
對應第 7 代基板尺寸
優秀的設計能力與多樣的型式變化，可配合顧客的不同需求。
可搭配前後製程設備組成一貫化生產線








基板壓合機
可進行上下基板一次全板壓合或上基板分次與下基板壓合
以非接觸式的對位方式提升精準度
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