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HISOL 探针仪 / 复晶焊接机

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全自动倒装芯片焊接机(Filp-Chip Bonder M-400)

  1. 支持各种封装技术:热压合/共晶焊接/胶合/图像接口/CCD校正 (Image processing, CCD alignment, Thermo-compression/adhesive with a dispenser, and eutectic solder bonding.)
  2. 运用图像处理亦可支持破片晶圆 (including broken or chipped wafers)
  3. 额外应用:雷射量测/紫外线光 (Laser measurement/UV/Ultra Sonic)
  4. 精度:±2.5μm


高精度倒装芯片焊接机(High Accuracy Filp-Chip Bonder M-1300)

  1. 适用于雷射相关或/光学产品封装产业或是需超高精度封装类型 (for laser-assisted packaging, optical device packaging)
  2. 额外应用:雷射量测/紫外线光 (Laser measurement/UV/Ultra Sonic)
  3. 精度:±1μm
  4. 可应用在研发/实验室 (used for R&D or Lab.)


简易型手调式探针仪

  1. 主要提供半导体研发或电性异常分析之用。
  2. 可装 Hot Chuck 做高温测试。
  3. 可做微小 I - V 量测,(电流可到 fA 等级)。
  4. 不同的 C - V 量测(准静态 C - V;HF - CV)。
  5. 手调式电性测试分析探针仪主要运用在 IC chip 或 4”; 6” wafer


半自动高低温探针机

  1. 主要为低噪音及低漏电半导体产品量测设计。
  2. 提供 EMI 完全屏蔽环境。
  3. 可做微小 I - V 量测,(电流可到fA等级)。
  4. 不同的 C - V 量测(准静态 C-V; HF - CV)
  5. 温度可调范围 -65℃ ~ 300℃
  6. 可供 Random telegraph Noise 评估
  7. 高频噪音评估(最高 800MHz)
  8. 超高速 I - V 量测
  9. 主要运用在 8” 或 12” Wafer 的量测, 可选配安装Probe Card