Language:

AXOMETRICS/VRTF-3-MSRS-XY50-W12光斑式椭圆仪 AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式椭圆仪

点图放大 联络勤友

设备介绍

特性:

  • Axometrics偏光测定仪,为目前偏极化量测中最快速的测量系统
  • 快速测量快轴方位角度(Fast-axis Orientation)、相位延迟(Retardance)、偏光(Polarization)
  • 线性/椭圆/圆形的偏极化测量
  • 多波长Retardance频谱的R0(400-800nm)
  • 快速测量Biaxial Films R0、Rth和β(须视机型而定)
  • 具有旋转/倾斜机构,于测量时旋转角度可精确掌握(须视机型而定)
  • 可承载最大样品尺吋:12吋(须视机型而定)
  • 操作容易的软件接口
  • 客制化测量模块组合

应用范围:

  • LCOS Cell Gap的测量
  • LCOS晶圆Retardance和电压特性关系的测量(须根据选配内容而定)
  • 去极化量测
  • 液晶(LCD)Cell Gap、Pre-tiltangle、Rubbing direction、twist angle量测
  • 多波长延迟片/相位差板(In Plate or Out of Plate)测量
  • 偏光片(板)测量多层膜(R0,Rth,β)
  • 快轴方位角度测量(Fast Axis Orientation)
  • 3D Film的测量(FPR)
  • 多面向的LCD的量测(PSVA Multi一Domain)
  • 根据不同机型,搭配不同软件应用,可量测膜厚、n/k值