液晶面板製造暨檢查設備

電路整列製程設備（Array Fabrication）及彩色濾光片製程設備（C/F,Color Filter Process)

玻璃基板表面檢查設備

• 最適合於對坡璃基板表面異物檢查及製程管理
• 對應基板的大型化、薄型化的發展趨勢。
• 具有節省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優點。

近接式曝光機

• 最以X Y Step方式對應第10代基板尺寸的近接式曝光機
• 比投影式曝光機台具有成本上絕對優勢
• 採用高功率的曝光光源