UNION THS 雙面對焦厚度測定機

• Z軸光學輔助對焦符號，使操作人員有清楚準確的判斷依據，減少人為誤差大幅提昇精度。
• 採用上，下鏡頭的單點測量，不會因待測物（sample)彎曲而造成測量的誤差。
• 光學非接觸的測量方式不會造成待測物（sample）的刮傷或變形。
• 總和倍率由50倍至2000倍（上、下鏡頭須相同）。

THS 於Z軸測量時不會因待測物（sample) 上、下兩面的凹陷或凸起而造成測量的誤差

THS為針對厚度測量所專門開發光學非接觸式測定機，特有的上、下鏡頭設計可分別觀察待測物（sample）的上、下兩面

應用範圍：

• 微機電（MEMS）的懸膜及材料厚度測量
• 晶背研磨後的厚度測量
• 各種薄膜的厚度測量