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AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式橢圓儀

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設備介紹

影像式橢圓儀:
Axometrics的影像式橢圓儀EllipsoStep,解決光譜橢偏儀的量測限制。
將光譜橢偏儀與顯微鏡結合,使量測區域縮小至3μm x 3μm。

  • 使用旋轉式PSCA系統搭配16位元CCD相機
  • 同一時間量測影像中的每一點位
  • 每波長僅2.4秒
  • 波長範圍介於 250至1,000nm間

量測項目:

  • 薄膜厚度(Film Thickness)
  • N and K

特點:

  • 最小量測區域為1μm x 1μm
  • 小區域的在線掃描
  • 薄膜厚度的2D影像

應用:
影像式橢圓儀用於檢測製造半導體(semiconductors)、有機發光二極體(OLED)、發光二極體(LED)、液晶顯示器(LCD)、觸控式螢幕(touchscreens)、太陽能電池(solar cells)的薄膜,包含:

  • 矽Silicon (a-Si, p-Si)
  • 二氧化矽SiO2
  • 氮化矽SiNx
  • 有機薄膜Organic layers

光學解析度將依所選擇的鏡頭倍率而改變,使用者可依量測需求來選擇。

在鏡頭成像下的範圍內,可自由選擇區塊進行分析。