AXOMETRICS / Imaging Spectroscopic Ellipsometer影像式橢圓儀
設備介紹
影像式橢圓儀:
Axometrics的影像式橢圓儀EllipsoStep,解決光譜橢偏儀的量測限制。
將光譜橢偏儀與顯微鏡結合,使量測區域縮小至3μm x 3μm。
- 使用旋轉式PSCA系統搭配16位元CCD相機
- 同一時間量測影像中的每一點位
- 每波長僅2.4秒
- 波長範圍介於 250至1,000nm間
量測項目:
- 薄膜厚度(Film Thickness)
- N and K
特點:
- 最小量測區域為1μm x 1μm
- 小區域的在線掃描
- 薄膜厚度的2D影像
應用:
影像式橢圓儀用於檢測製造半導體(semiconductors)、有機發光二極體(OLED)、發光二極體(LED)、液晶顯示器(LCD)、觸控式螢幕(touchscreens)、太陽能電池(solar cells)的薄膜,包含:
- 矽Silicon (a-Si, p-Si)
- 二氧化矽SiO2
- 氮化矽SiNx
- 有機薄膜Organic layers
光學解析度將依所選擇的鏡頭倍率而改變,使用者可依量測需求來選擇。
在鏡頭成像下的範圍內,可自由選擇區塊進行分析。