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KINGYOUP 晶圓暫時貼合及雷射剝離設備 KINGYOUP 真空濺鍍設備

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連續式真空濺鍍設備(In-Line SPutter)及卷繞式真空鍍膜設備 (Roll to Roll Sputter),主要應用於觸控面板、減反射蓋板玻璃及薄膜太陽能相關製程,依不同需求提供客製化設計、製作與售後服務。

連續式真空鍍膜設備-卷繞式鍍膜

特點:

  • 製程腔main Drum溫度可調整-20~80℃
  • 多段式氣管設計,鍍膜均勻性佳
  • roller 特殊設計、有效防止皺摺產生
  • 收料區使用尋邊控制器,有效控制偏擺問題
  • 遮板使用快拆設計,維護容易

應用:

  • 薄膜光學材料:AR、IR、UV、建築材料
  • 導電材料:觸控產業、軟式光電產品
  • 光學轉換材料:PV Cell、熱吸收